SU-8相关论文
随着MEMS技术不断发展,除硅基材料之外,不断有各种新材料被开发用于MEMS器件的设计制造。在众多新型MEMS材料中,聚合物由于有多种......
由于其Q值高、结构尺寸小、模式体积小和没有自由光谱范围的限制等众多优势,硅基光子晶体纳米梁腔得到了越来越多的关注。但是,仍......
介绍一种具有SU-8垂直微镜的静电驱动微型2×2光开关.该光开关用硅表面工艺与SU-8厚胶工艺结合制作,具有自组装、驱动电压低、可扩......
Integration of Dissolvable Sharp Maltose tips on SU-8 Microtubes for Transdermal Drug Delivery Appli
Generally speaking,drugs can be delivered into human body through different routes of administration,among which injecti......
目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参......
微电子机械系统(MEMS)制造和先进的封装技术更需要厚抗蚀剂层。在MEMS应用领域包括体硅微机械加工、表面微机械加工和有源器件结构......
提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完......
对基于SU-8紫外负性光刻胶的无源-有源集成式电光开关进行了系统的研究。首先用物理掺杂的方法制备出价格低廉、性能良好的主客掺......
应用分子动力学模拟软件Materials Studio构建SU-8光刻胶与Ni基底的界面结构,研究后烘温度对界面结合性的影响.结合工艺中所采用的......
依据传统Maxwell-Wagner界面极化理论,金属微纳米粒子由于具有极高电导率,在旋转电场作用下无明显电旋转运动.然而,本文针对镀金SU......
近年来,有机聚合物材料以其独特的性能、低廉的成本受到越来越多的重视.聚合物光电子器件如阵列波导光栅、电光调制器、光开关和微......
本文对基于SU-8紫外负性光刻胶的无源-有源集成式电光波导进行了系统的研究.首先用物理掺杂的方法制备出价格低廉、性能良好的主客......
本文采用实验的方法，选用结合ST-90°X石英基片与SU-8波导层的Love波器件结构，研究SU-8厚度对器件温度稳定性的影响，从而获得趋于......
基于聚合物材料的波导型电光器件对提升光通信网络的带宽容量具有重要的意义。设计并制备了一种基于有机/无机杂化非线性材料的准......
In addition to being used for patt transfer, the negative photoresist SU-8 is widely used as a structural material in mi......
介绍了基于阵列波导光栅(AWG)的单纤三向波分复用器的设计、仿真、制作与测试。利用阵列波导光栅的频谱周期性,采用越级衍射方法可......
本文对一种新的负性近紫外光刻胶SU-8的光刻工艺进行了详细研究.SU-8是一种基于环氧树脂的光刻胶,专为要求超厚和高深宽比的MEMS应......
提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层......
对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为......
压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)......
Thermo-mechanical and tribological properties of SU-8/h-BN composite with SN150/perfluoropolyether f
In this study, SU-8 and its composites are fabricated by blending 10 wt.% hexagonal boron nitride (h-BN) fillers with/wi......
生物芯片是近年来发展起来的一种新型检测技术,对人类基因组计划的提前完成发挥了重要作用.传统的生物芯片大多采用硅、玻璃等材料......
该论文主要包括以下几个内容:1、阐述了毛细管电泳的原理,以及微流控电泳芯片的原理和研究状况,在 此基础上,提出了自己的研究思路......
SU-8负胶具有优异的力学性能、抗化学腐蚀性、热稳定性和生物兼容性,在MEMS工艺和器件中得到广泛应用。镍金属具有良好的力学性能......
Golden Ratio-Based and Tapered Diptera Inspired Wings: Their Design and Fabrication Using Standard M
本文通过对荣华二采区10...
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
SU-8是一种性能优异的厚胶,广泛应用于高深宽比的MEMS微结构中.本文首先用正交试验研究了前烘时间、曝光剂量、后烘时间以及显影时......
为了能得到植入在生物体内,用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量L值的MEMS电感线圈,本文首先......
热键合技术常用于制备纳米通道,但其需要高温高压的工艺条件,因此难以获得大面积和尺寸可控的纳米通道。本文提出一种利用热键合技......
为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620......
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础......
提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍......
The volume expansion of SU-8 resist brings serious dimensional errors to electroformed structures. Two approaches have b......
应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的......
介绍了一种用于太赫兹频段的矩形波导腔的设计和加工工艺。利用Comsol Multiphysics软件对射频器件中心频率为0.4 THz时,横电波(TE......
设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CY......
采用紫外光光刻、硅蚀刻及软光刻技术分别制备了阴性光刻胶SU-8和聚乳酸及聚羟基乙酸共聚物(PLGA)微小凹图式.以人神经母细胞瘤细......
作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合......
Microengines are regarded as the potential replacements for batteries. Aimed at the unsatisfactory thermal property of s......
将SU-8光刻胶涂覆在经过表面处理的锥形光纤表面,其表面的环氧基与MPTMS(3-硫丙基三甲氧基硅烷)发生交联作用。TPTMS表面的-SH基与......
背面夹缝曝光是利用光学衍射效应来制备三维微结构的新方法．采用Matlab对曝光时间和夹缝对三维SU8结构形貌的影响进行了模拟，并开展......
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点，其用途或潜在用途相当广泛 。为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器，在充分利用SU-8特点的基础......
为了提高微驱动器的性能，提出了一种在氧化铟锡（ITO）玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法．在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620正光......
SU-8负性光刻胶可通过UV-LIGA技术得到高深宽比微结构，是微机械系统（MEMS）制造中极具前景的一种技术。目前已有对于SU-8微结构的线宽......
